適合于半導體行業液晶面板的檢測，微分粒子等DIC(不同倍率）檢測。
無限遠光學系統，長工作距離平場復消色差物鏡，穩定可靠的架臺，精確的調焦機構。采用LED用軸光源和LED透射光源照明。偏光系統檢偏鏡可調轉動100度便于偏光正交觀察。DIC棱鏡插板機構可匹配不同倍率鏡頭，采用可調節的方式可得到最佳的微分干涉效果，使成像更清晰效果更好。
技術參數 | XSK500 | XSK500A | |
光學系統 | 無限遠光學系統 管鏡 F = 200毫米 | ● | ● |
檢偏鏡 | 0°-105° | ● | ● |
轉換器 | 單孔 | ○ | ○ |
五孔 | ● | ● | |
微分干涉 | 0-10mm插板 | ○ | ○ |
物鏡 | Plan 95mm APO 1X/0.015 WD=14mm | ○ | ○ |
Plan 95mm APO 2X/0.05 WD=20mm | ● | ○ | |
Plan 95mm APO 5X/0.012 WD=23mm | ● | ○ | |
Plan 95mm APO 10X/0.30 WD=34mm | ● | ○ | |
Plan 95mm APO 20X/0.30 WD=33mm | ● | ○ | |
Plan 95mm APO 50X/0.50 WD=20.7mm | ○ | ○ | |
Plan 95mm APO 100X/0.80 WD=4.0mm | ○ | ○ | |
Plan 95mm APO 150X/0.60 WD=4.4mm | ○ | ● | |
Plan 95mm APO 200X/0.65 WD=2.2mm | ○ | ● | |
Plan 95mm APO 250X/0.70 WD=2.0mm | ○ | ● | |
Plan 95mm APO 500X/0.75 WD=1.96mm | ○ | ● | |
平臺 | 雙層平臺 尺寸：220×260mm | ● | ● |
玻璃平臺 尺寸：170x150mm | ● | ● | |
移動范圍:75×75mm | ● | ● | |
電動平臺 | ○ | ○ | |
粗微調系統 | 同軸的粗、微調齒輪和齒條，粗調范圍：60mm； 微調格值：0.002mm | ● | ● |
照明系統 | 反射LED | ● | ● |
選配 | 金相軟件 | ○ | ○ |
注: "●"為標配, "○" 為選配
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